ITO如何湿法腐蚀?想用湿法腐蚀ITO,使用SiO2作掩膜,所以要求对SiO2腐蚀速率不能太快,

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/04/30 01:22:02
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ITO如何湿法腐蚀?
想用湿法腐蚀ITO,使用SiO2作掩膜,所以要求对SiO2腐蚀速率不能太快,

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可以使用HCL做腐蚀,不过速度不好控制,容易出现侧蚀等
还有一种配比HCl：HNO3：H2O＝5：5：2
当然,王水是用的比较普遍的,3.4%的草酸也行

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