干式真空泵为什么要用氮气

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/03 16:59:01
干式真空泵为什么要用氮气

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干式真空泵为什么要用氮气
气密,稀释制程气体,减轻腐蚀及制程附着.